투명전극에 대한 고찰
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작성일 19-06-12 13:40
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Silver Nanowire
ITO의 대체물로 Metallic nanowire에 대한 연구가 진행되고 있다 그 중에서도 특히 silver nanowire은 광학적 property(특성)이 우수하고 높은 유연성과 전도성을 가지고 있어 차세대 투명 전도체로서의 잠재력이 많은 물질로 떠오르고 있다 은나노와이어는 저항 값이 80~120Ω으로 200~400Ω인 ITO필름보다 낮아 대형화에 유리하며 증착이 아닌 인쇄 공법의 적용이 가능하고 곡면 제작이 가능해…(To be continued )
다.
ITO(Indium Tin Oxide)
ITO박막은 sputter공정으로 제조된다 Sputter 공정이란 진공 chamber내에 불활성 기체(일반적으로 Ar사용)를 넣고 음극에 (-)전압을 가하면 음극에서 방출된 전자들이 Ar기체 원자들과 충돌하여 이온화를 시키는 원리를 이용한다. 이때 일반적으로 고온(약 300 C)에서 진행하여 전자의 치환이 잘 일어 나도록 한다.
하지만 ITO는 poly crystalline구조의 경계면이 뚜렷하여 밴딩에 의해 쉽게 부서져서 전도성이 저하되는 치명적인 단점이 있다 인듐을 사용하기 때문에 비싸고 독성이 있기도 하다.순서
투명전극에 대한 고찰
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레포트/공학기술
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지금껏 가장 대표적으로 이용되었던 투명전극은 ITO(Indium Tin Oxide)였으나, 유연하지 못하다는 점과 자원의 한계와 같은 문제와 부딪치면서 은나노와이어(silver nanowire), CNT(탄소나노튜브), 그래핀(graphine)과 같은 차세대 투명전극 소재들이 연구되고 있다 본 글에서는 ITO와 그것을 대체할 수 있는 차세대 투명전극 소재들에 대하여 알아보고자 한다. 이렇게 했을 때 저항이 작은 ITO가 제작 가능하다. Ar이 excited된 상태가 되어서 전자를 방출하면 동시에 에너지가 방출되며 이 때 이온과 전자가 공존하는 plasma 상태가 된다 Plasma 내에 있는 Ar+이온은 큰 전위차에 의해 음극 쪽으로 가속되어 두 전극 사이에 있는 target의 표면과 충돌하면 중성의 target원자들이 튀어 나와 기판에 박막을 형성한다.