유기물을 이용한 Micro-Scale Pattern 제작 실험(PPT)-1
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작성일 19-07-11 15:58본문
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유기물을 이용한
MICRO-SCALE PATTERN
제작test(실험)
6조
김종현 신민재
양지은 윤홍철
정규형
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CONTENTS
PURPOSE
THEORY
APPARATUS
CHEMICALS
PROCEDURE
CAUTIONS
REFERENCES
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1. PURPOSE
MICRO-CHANNEL 제작 test(실험) 을 실행함으로써
반도체, 디스플레이 및 MEMS (Micro Electronic
Mechanical System) Micro Scale Patterning
공정 기술의 (Photo Lithography, Spin Coating,
Plasma Treatment 등) 원리를 이해한다.
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2. THEORY
1) MEMS (Micro Electronic Mechanical System)
정의(定義)
- 기계와 전기 등 다방면의 기술이 관련된 Micro Feature Size를
갖는 시스템을 다루는 학문.
- 초소형 시스템이나 초소형 기계를 의미.
- 각종 Sensor, 뇌나 신경에 해당하는 논리 회로, 팔과 다리에
대응하는 Micro Mechanism , 그것을 움직이게 하는
Micro Actuator를 하나로 하는 시스템을 일컬음.
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2. THEORY
MEMS 기술의 개요
- 전자(반도체)기술, 기계 기술,
광기술 등을 융합하여 Micro단위의
작은 부품 및 시스템을 설계, 제작,
응용하는 기술을 일컫는다.
- Size Domain 상으로는, Micro 영역에 해당된다
최소수 밀리 이상의
종래의 기계 부품
또는 시스템
MEMS 기술
나노(nm) 영역인 분자소나
탄소나노튜브
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MEMS …(skip)
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실험결과/기타
설명
유기물을 이용한 Micro-Scale Pattern 제작 실험(PPT)-1
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