MEMS의 기초 해결책 (Foundations of MEMS, Chang Liu)
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작성일 20-10-30 16:21
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CHAPTER 06 압저항 센서
MEMS의 기초
CHAPTER 14 주사 프로브 현미경을 위한 기기
『MEMS의 기초』는 CHANG LIU의 저서로 기술Engineering 분야의 전문서적이다. 원제 : Foundations of MEMS 저자 : Chang Liu 범위 : 1장 ~ 16장 『MEMS의 기초』는 CHANG LIU의 저서로 기술공학 분야의 전문서적이다. 총 16개의 CHAPTER로 구성되어 있는 이 책은 센서와 액추에이터를 포함하여 전기기계 트랜스듀서를 설계하는, 학문 분야의 경계를 넘는 중요한 지식을 얻을 수 있도록 도와준다.
CHAPTER 15 광학 MEMS
CHAPTER 01 紹介
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원제 : Foundations of MEMS
CHAPTER 11 표면 미세 가공
CHAPTER 10 벌크 미세 가공 기술과 실리콘 비등방성 식각
다. 총 16개의 CHAPTER로 구성되어 있는 이 책은 센서와 액추에이터를 포함하여 전기기계 트랜스듀서를 설계하는, 학문 분야의 경계를 넘는 중요한 지식을 얻을 수 있도록 도와준다.설명
CHAPTER 03 전기적ㆍ기계적 필수 정의(定義) 의 紹介
CHAPTER 09 센싱과 액추에이션 요약
MEMS의 기초 해결책 (Foundations of MEMS, Chang Liu)
CHAPTER 04 정전기적 센싱과 액추에이션
저자 : Chang Liu
순서
범위 : 1장 ~ 16장
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MEMS의 기초 솔루션입니다.
CHAPTER 05 열 센싱과 액추에이션
CHAPTER 08 자기 액추에이션
CHAPTER 07 압전 센싱 및 액추에이션
CHAPTER 02 미세 제작 기술
CHAPTER 12 폴리머 MEMS
CHAPTER 16 MEMS 기술경영
CHAPTER 13 마이크로 유체공학의 응용
MEMS의 기초 해결책입니다.
